大行程微/纳米级定位与传动系统设计研究
简介:本项目以微纳米与精密机械传动的设计、制造、测量及其基础理论为主要内容的前沿研究,以特种功能在重要装备中的关键高精密微机械传动零部件的设计、制造、测量基础理论及应用为特色,主要结合国家前沿性、探索性任务,解决相关的基础理论与技术问题。项目主要针对微型齿轮传动系统、三维微传动装置、直接驱动的微传动电机装置等的精密定位及微传动机构的基础研究,本项目提出了一种新型的五自由度微纳传动平台,该平台具有高精度、高刚度、大行程、大摆动等特点,为工程应用奠定基础,该研究可应用于未来的超精密机床、纳米加工机床、超精密定位及纳米检测与测量设备、航空航天设备、精密光学仪器设备、光刻设备、医疗器械设备及生物工程设备等多个领域的关键重要装备中应用,具有重要的理论研究意义及重要的应用前景。