压电/电致伸缩陶瓷微位移器大功率驱动电源及线性化控制器
简介:为了实现压电陶瓷执行器输出位移与驱动电压迟滞关系的线性化,提出并建立了模拟压电陶瓷叠堆执行器迟滞特性的Bouc-Wen现象模型,提出了利用迟滞模型将叠堆型压电陶瓷执行器的输出位移与驱动电压间的多值对应的迟滞特性线性化为一一对应的线性关系以实现其精密定位的方法。采用迟滞位移观测器构建了基于Bouc-Wen模型的前馈补偿控制方法和基于Bouc-Wen模型的前馈补偿和PI反馈的混合控制方法分别实现叠堆型压电陶瓷执行器的线性化。线性化精度如表1所示。开发了线性化控制器,可用于基于压电陶瓷执行器的精密控制系统开发。